電子廠(chǎng)廢氣成分:
電子工業(yè)廢氣VOCs的排放,對大氣質(zhì)量、人體健康以及周邊生活環(huán)境的損害都較大,對該類(lèi)污染物進(jìn)行有用操控和管理問(wèn)題也益發(fā)重要。電子工業(yè)從產(chǎn)品產(chǎn)業(yè)鏈區分,自上而下分為電子整機產(chǎn)品、電子根底產(chǎn)品和電子資料三個(gè)層次。其間包括:電子資料、半導體器材、電子元件及印制電路板、光電器材和電子終端產(chǎn)品等5個(gè)方面。
電子工業(yè)是VOCs排放的職業(yè)之一,電子工業(yè)廢氣VOCs排放品種有30多種,組分雜亂。電子工業(yè)廢氣VOCS來(lái)源于對電子產(chǎn)品的外表涂層工藝環(huán)節所用溶劑型涂料和清洗工藝環(huán)節所用溶劑所造成的。電子工業(yè)廢氣VOCS常見(jiàn)的品種有:異丙醇、丁酮、甲苯、醋酸丁酯、甲醇、乙醇、丙酮、二甲苯、丙二醇單甲醚、苯乙烯、乙酸乙酯、正丁醇、甲基異丁基甲酮、二氯甲烷、環(huán)已酮、乙苯、正庚烷、甲氫呋喃、三氯乙烯和氯仿等。
一般來(lái)說(shuō),廢氣排放中風(fēng)量較大,VOCs濃度較低。半導體工藝進(jìn)程中廢氣具有排放流量大(一般大于11000m3/h)和濃度低(一般小于25ppmv)的特色,電子工業(yè)廢氣VOCs排放中還含有酸性氣體、堿性氣體和一些有毒氣體。
揮發(fā)性物(VOCs)排放量大、濃度低、成分雜亂,常見(jiàn)廢氣管理辦法如:焚燒、吸附、冷凝、生物膜法、低溫等離子、光催化氧化等,單罕見(jiàn)運用或無(wú)法達到經(jīng)濟運轉,或不能滿(mǎn)意苛刻的排放規范。
電子廠(chǎng)廢氣處理辦法
(1)預處理階段:一般選用噴淋塔先對廢氣進(jìn)行預處理,去除粉塵以及易溶于水的氣體。
(2)處理階段:在此階段,比較常見(jiàn)而有用辦法有:UV光解,生物過(guò)濾分化,焚燒和催化焚燒等。
這幾種辦法各有好壞,依據都電子廠(chǎng)廢氣的狀況,在這里咱們引薦和介紹活性炭濃縮+蓄熱式催化焚燒體系去除VOCs氣體的計劃。
活性炭濃縮+催化焚燒法簡(jiǎn)介
(1)活性炭濃縮
即選用活性炭吸附設備來(lái)對廢氣進(jìn)行濃縮。因為電子廠(chǎng)廢氣具有風(fēng)量大,濃度低的特色,而催化焚燒體系在發(fā)動(dòng)運轉時(shí),對動(dòng)力的耗費較大,假如預處理后的氣體先經(jīng)過(guò)活性炭吸附抵達濃度后,再進(jìn)入催化焚燒體系,相對于直接進(jìn)入催化焚燒體系,將可以節省動(dòng)力的耗費?;钚蕴课狡饔挚煞Q(chēng)為活性炭吸附器、活性炭吸附過(guò)濾器、活性炭吸附箱。是一種廢氣過(guò)濾吸附異味的環(huán)保設備產(chǎn)品,活性炭吸附塔塔體可用不銹鋼、碳鋼、PP板等原料制造?;钚蕴课剿哂形?、適用面廣、保護便利、能一起處理多種混合廢氣等長(cháng)處,活性炭具有去除甲醛、苯、TVOC等氣體和除臭等效果。廢氣氣體由風(fēng)機供給動(dòng)力,正壓或負壓進(jìn)入活性炭吸附器塔體,因為活性炭固體外表上存在著(zhù)未平衡和未飽滿(mǎn)的分子引力或化學(xué)健力,因而當此固體外表與氣體觸摸時(shí),就能招引氣體分子,使其濃聚并保持在固體外表,污染物質(zhì)然后被吸附,活性炭吸附到時(shí)刻后,即可進(jìn)入脫附流程,脫附后的氣體便是濃縮后的vocs氣體
(2)蓄熱式催化焚燒體系(RCO)
催化焚燒是典型的氣—固相催化反響,它憑借催化劑下降了反響的活化能,使其在較低的起燃溫度200~ 300℃下進(jìn)行無(wú)焰焚燒,物質(zhì)氧化發(fā)生在固體催化劑外表,一起發(fā)生CO2和H2O,并放出很多的熱量,因其氧化反響溫度低,所以地按捺了空氣中的N2構成高溫NOx。并且因為催化劑有選擇性催化效果,有或許約束燃猜中含氮化合物(RNH)的氧化進(jìn)程,使其大都構成分子氮(N2)。蓄熱式催化焚燒,相對于一般的催化焚燒設備,增加了熱量循環(huán)設備,設備發(fā)動(dòng)時(shí)刻后,可下降對電量的耗費,為工廠(chǎng)省下很多的電費。